

全自動探針臺TESLA200
200mm半/全自動晶圓級功率器件測量探針臺:TESLA200。品牌:Cascade。 新型TESLA200專為晶圓級IGBT/功率MOSFET(GaN,SiC,Si)器件測量而設計。該系統經過精心設計,可提供高達3kV(三軸)/10kV(同軸)和200A(標準)/600A(大電流)測量的準確數據。
手動/半自動探針臺T200
200mm手動/半自動晶圓級功率器件測量探針臺:T200。品牌:Cascade。 T200功率器件表征系統提供完整的晶圓級測量方案,用于高達3kV(三軸)/10kV(同軸)和200A(脈沖)/10A(DC)功率半導體測量,低接觸阻抗,同時提供低噪聲和屏蔽的測試環境,并集成經安全認證的符合人體工程學的透明外罩或紅外激光防護圍場。
全自動探針臺A12
全自動探針臺A12,品牌:森美協爾。支持Sic/Gan晶圓測試,大功率晶圓測試; 更換Chuck設計,可針對不同晶圓測試; 可與儀器儀表系統進行集成; 可升級高低溫測試環境測試。應用方向: 晶圓測試、各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試等